MOCVD эпитаксиалды вафлиі қамтамасыз етеді

Mocvd Epitaxial Wafer Supceptor - бұл Mocvd (металл-органикалық буынды тұндыру) үшін жасалған жоғары сапалы эпитаксилі вафлицептор. Сезскептор графиттің жоғары жылу өткізгіштігімен қапталған және кремний карбид жабынымен қапталған, ол графиттің жоғары жылу өткізгіштігін жоғары температурада және SIC коррозияға төзімділігімен үйлестіреді және жартылай өткізгіштердің эпитаксиальды өсуі кезінде жоғары температура мен коррозиялық газға жарамды.

SGL графиті материалында керемет термиялық өткізгіштік бар, ол эпитаксиалды вафлидің температурасы өсу процесінде біркелкі бөлініп, эпитаксиальды қабаттың сапасын жақсартады. Қапталған SIC жабыны сезімталдыққа 1600-ден асатын жоғары температураға төтеп беріп, MOCVD процесінде экстремалды жылу ортасына бейімделеді. Сонымен қатар, SIC жабыны жоғары температуралы реакция газдары мен химиялық коррозияға, сезімталның қызмет ету мерзімін ұзартып, ластануды азайта алады.

Veteksemi-дің Mocvd Epitaxial Wafer SuperSptor Aixron сияқты MOCVD жабдық жеткізушілерінің аксессуарларын ауыстыру ретінде пайдалануға болады.

● мөлшері: Тұтынушы қажеттіліктеріне сәйкес, оны теңшеуге болады (стандартты өлшем бар).

● өткізу қабілеті: Бір уақытта бірнеше немесе одан да көп эпитаксиалды вафлиді бірнеше рет тасымалдай алады (сезімтiң мөлшеріне қарай).

● Беттік өңдеу: SIC жабыны, коррозияға төзімділік, тотығу кедергісі.

● Жартылай өткізгіш өнеркәсіп: ЖШД, лазерлік диодтар және электр станциялары сияқты эпитаксиалды вафлидің өсуі үшін қолданылады.

● Оптоэлектроника өнеркәсібі: Жоғары сапалы оптоэлектрондық құрылғылардың эпитаксиалды өсуін қолдайды.

● Материалдық зерттеулер мен даму: Жаңа жартылай өткізгіштер мен оптоэлектрондық материалдардың эпитаксиалды дайындыққа қолданылады.

Клиенттің MOCVD жабдықтары мен өндірістік қажеттіліктеріне байланысты Ветек жартылайдюсторы клиенттерге ең қолайлы шешімнің ең қолайлы екендігіне көз жеткізу үшін арнайы қызметтерді, оның ішінде сезімтал, материалды, бетті өңдеу және т.б. ұсынады.

CVD SIC Film Crystal құрылымы

CVD-дің негізгі физикалық қасиеттері

Ол жартылай өткізгіш Mocvd Epitaxial Wafer Supceptor дүкендері