Покус сақинасы

Монокристалды кремнийді илеминг сақиналары - бұл процестерді плазмалық ортадағы тұрақтылықты, жабдықты және вафлиді қорғау, ресурстарды пайдалану және озық технологиялық талаптарға бейімделу арқылы процестерді жасаудың маңызды компоненттері. Оның өнімділігі чип өндірісінің кірістілігі мен құнына тікелей әсер етеді.

Фокустық сақина, электрод және т.б. (жиек температурасы контроллері) плазмалық біркелкілік, температураны бақылау және процестерді қайталау үшін негізгі шығын материалдары болып табылады. Бұл компоненттер дерлік CVD вакуумдық камерасында жиналған және кинофильмдер жабдықтарында жиналған және EDGE-дан EDCH-дің дәлдігі мен кірістілігін вафлидің ортасына тікелей анықтайды.

Жоғары өндірістік процестердегі материалдық қасиеттерге қатаң сұранысқа жауап ретінде Ветексеми жоғары тазалық монокристалды кремнийді қолдану арқылы инновациялар, 10-20 центрлік сақиналар мен қолдайтын шығын материалдарын шығарады. Материалдық ғылымдарды, электр дизайнын және термодинамиканы бірлесіп оңтайландыру арқылы Ветексеми сақиналар мен қолдау қабілеттілігін пайдалану арқылы өндіре алады. Ұзақ өмір сүру, дәлдік пен шығын тиімділігі жетістіктерге жету үшін дәстүрлі кварцтың шешімдерінен асып түседі.

Негізгі материалды салыстыру және қарсыласуды оңтайландыру

Монокристалды кремний және. Кварц

Өнім Core AdvantaGe

1. Атомдық деңгейдегі процестің дәлдігі

Тұрақты оңтайландыру + Ультра дәлдігін жылтырату (RA <0,1 мкм) жартылай F47 стандарттарына сәйкес келетін микро-разряд пен бөлшектердің ластануын жояды.

Диэлектрлік шығын (Тань <0.001) вафли-диэлектрлік ортаға жоғары сәйкес келеді, бұл электр өрісінің жиырма бұрмалануын болдырмайды және 3D Nand 89,5 ± 0,3 ° тік терең шұңқырды қолдайды.

2. Интеллектуалды жүйенің үйлесімділігі

ETC Exge температурасын басқару модулімен біріктірілген, салқындату ауасының ағыны камера және AI алгоритмімен динамикалық түрде, камералық термалды дрейфті өтеу үшін динамикалық түрде реттеледі.

Amat centura, kyo және ICP / CCP плазмалық ақпарат көздері сияқты негізгі машиналарға жарамды, мысалы, RF сәйкестендіру желісін қолдау.

3. Жан-жақты шығындар

Монокристалды кремнийдің өмірі кварцқа қарағанда 275%, техникалық қызмет көрсету циклі 3000 сағаттан асады, ал меншік құқығын (ТШО) 30% -ға азайтады.

Тұруға арналған градиент теңшелім қызметі (5-100ω), клиенттердің технологиялық терезесіне дәл сәйкестендіру (мысалы, GAN / SIC кең диапазоны

Тұруға әсері

Өнімнің коммерциялық шарттары

Ең төменгі тапсырыс мөлшері	1 жиынтық
Баға	Реттелген баға белгілеу үшін хабарласыңыз
Қаптама мәліметтері	Стандартты экспорттық пакет
Жеткізу уақыты	Жеткізу мерзімі: Тапсырысты растаудан 30-35 күн
Төлем шарттары	Т / т
Жеткізу қабілеті	Айына 600 жиынтық