CVD SiC қаптамасы графит бөлшектерін тазалау қызметі

1. Сіз бетпе-бет келуі мүмкін қиындықтар

• Жою қиын AlN қабаты:1300°C термиялық тазалау әлі де қалдық AlN қабатын тиімді өңдей алмайды.

• Қайталанатын жад әсері:Беттік жады әсері реактордағы тұрақсыз газ ағынын тудырады, бұл процестің консистенциясына әсер етеді.

• Cleaning Cycle Impacts Өткізу қабілеті:Әдетте әрбір 16 технологиялық цикл (4–5 қабылдағыш) сыртқы тазалауды қажет етеді.

• Қымбат жабынды зақымдау туралы алаңдаушылық:Үйде химиялық тазалау тәжірибесінің болмауы операторларды агрессивті тазалау әрекетінен тартынуға мәжбүр етеді.

2. Біздің шешіміміз – GaN / AlN / AlGaN процестеріне арналған

• Кәсіби тазалау:CVD SiC қапталған графит бөлшектері үшін арнайы әзірленген арнайы процесс. Тұтынушыдан химиялық формула талап етілмейді.

• Қаптау қауіпсіздігі:100 мкм CVD SiC жабынын қатаң қорғайды. Тазалаудан кейін абсолютті нөлдік қалыңдығын жоғалту.

• Тексерілетін нәтижелер:Бес негізгі өлшемді қамтитын толық талдау сертификаты (COA). Деректер мұрағатқа және сапалы аудитке дайын.

3. Қабылдаудың бес негізгі критерийі

Жартылай өткізгішті эпитаксиді пайдаланушылардың маңызды талаптарына қатаң сәйкес келеді:

1. Қаптаманың нөлдік жоғалуы– SiC жабынының қалыңдығы тазалаудан кейін ешқашан азаймайды (қалыңдығын алдын ала/соңғы салыстыру).

2. Беттік деформация жоқ– Физикалық деформацияның болмауы үшін тегістік пен геометриялық дәлдік қатаң тексеріледі.

3. Жад эффектісін жою– Al/Ga қалдығы үшін XPS талдауы жад әсерінің көздерін мұқият жоюды растайды.

4. Нөлдік металл қалдығы– Fe, Cu, Ni және басқа металдарға арналған ICP-MS сынағы нөлдік қалдық металл қоспаларын тексереді.

5. Артық бөлшектер жоқ– QIII бөлшектер сынағы және тазалықты тексеру қалдық бөлшектерден туындаған газ ағынының тұрақсыздығына жол бермейді.

4. Жеткізу инспекциясы және COA есебі

Әрбір топтама бес негізгі өлшем бойынша толық растау деректерімен жеткізіледі:

5. Қолданылатын өнімдер және процесс туралы ақпарат

Өнім параметрлері

Қызмет көрсету процесі

1. Сұрау– Бағалау үшін бөліктің фотосуреттерін / үлгісін / санын жіберіңіз.

2. Дәйексөз– Техникалық бағалау және баға ұсыныстарымен егжей-тегжейлі тазалау ұсынысы.

3. Жеткізу– Бөлшектерді бізге жеткізіңіз немесе алып кету қызметін ұйымдастырыңыз.

4. Тазалау– Кәсіби тазалау + толық көп өлшемді тексеру.

5. Есеп– COA есебі шығарылды және тазартылған бөліктер қайтарылды.

6. Бақылау– Әсерді бақылау және тұрақты техникалық қолдау.

6. Неліктен VETEK тазалау қызметін таңдау керек?

VETEK CVD SiC жабын технологиясы бойынша терең тәжірибесін жоғары құнды графит қабылдағыштары үшін арнайы тазалау мүмкіндіктерімен біріктіреді. Біз GaN/AlN эпитаксисіндегі жабын тұтастығының, бөлшектерді бақылаудың және процесс тазалығының маңызды маңыздылығын түсінеміз. Біздің қызмет жад эффектісі мен газ ағынының тұрақсыздығы мәселелерін толығымен шеше отырып, қымбат CVD SiC жабындары үшін абсолютті қауіпсіздікті қажет ететін тұтынушыларға арналған.

· Шағын топтаманы тексеру үшін сынақ тазалау қолжетімді

· Әрбір жеткізілімде берілген COA толық есебі

· Қаптаманың бүліну немесе жаңа ластану қаупі нөлдік

· Кәсіби · Қауіпсіз · Тексерілетін