Таңдау нұсқаулығы

Материал таңдалғаннан кейін, құралдың өнімділігін көбіне қалыңдықтың біркелкілігі, бөлшектердің деңгейі және тазалығы сияқты сандық көрсеткіштер анықтайды. Бұл мақала қабылдау және пайдалану кезінде CVD SiC жабынының негізгі сапа өлшемдерін ұйымдастырады, бұл «спецификация сәйкестен» «есепті тексеруге және тәуекелді болжауға» өтуге көмектеседі.

Бұл мақалада температура, атмосфера және процесс түрі бойынша CVD SiC жабыны, TaC жабыны және Қатты SiC қолдану шекаралары мен типтік сценарийлері сипатталған, эпитаксистік және ою инженерлеріне таңдау кезінде процесс терезелерін жылдам теңестіруге және материал мен күйдің сәйкес келмеуінен болатын бөлшектер мен өмірлік қауіптерді болдырмауға көмектеседі.

Aixtron G10, Veeco, ASM сенсорлары мен алдын ала қыздыру сақиналары үшін үйлесімділік және ауыстыру шешімдері. 1:1 сызбаға негізделген теңшеуді, стандартты бөлшектерді жылдам жеткізуді, теңшелетін бөлшектер үшін 3–6 аптаны, тексеру есептерімен және үлгіні бағалауды қолдайды.

Дұрыс CVD SiC, TaC жабыны немесе Solid SiC таңдау эпитаксистік/ою сызықтарындағы бөлшектердің деңгейлері мен құрамдастардың қызмет ету мерзімін тікелей анықтайды. Бұл мақалада жылдам шешім қабылдауға және тәуекелді азайтуға көмектесетін негізгі жабдықты ауыстыру шешімдерімен және негізгі көрсеткіштермен сәйкес келетін температура, атмосфера және процесс бойынша нақты таңдау шекаралары берілген.