Таңдау нұсқаулығы

Дұрыс CVD SiC, TaC жабыны немесе Solid SiC таңдау эпитаксистік/ою сызықтарындағы бөлшектердің деңгейлері мен құрамдастардың қызмет ету мерзімін тікелей анықтайды. Бұл мақалада жылдам шешім қабылдауға және тәуекелді азайтуға көмектесетін негізгі жабдықты ауыстыру шешімдерімен және негізгі көрсеткіштермен сәйкес келетін температура, атмосфера және процесс бойынша нақты таңдау шекаралары берілген.