Материал таңдалғаннан кейін, құралдың өнімділігін көбіне қалыңдықтың біркелкілігі, бөлшектердің деңгейі және тазалығы сияқты сандық көрсеткіштер анықтайды. Бұл мақала қабылдау және пайдалану кезінде CVD SiC жабынының негізгі сапа өлшемдерін ұйымдастырады, бұл «спецификация сәйкестен» «есепті тексеруге және тәуекелді болжауға» өтуге көмектеседі.

1.Неліктен қалыңдықтың біркелкілігі жылу өрісі мен пленка өнімділігіне тікелей әсер етеді?

Негізгі қорытынды:Қаптаманың біркелкі емес қалыңдығы жергілікті жылу кедергісін және бетінің жағдайын өзгертеді, бұл өз кезегінде температураның біркелкілігіне және эпитаксиалды қабық қалыңдығының таралуына әсер етеді. Әдеттегі инженерлік мақсат орташа мәнге қарап қана қоймай, өлшем нүктелерін бөліктің сыни аймақтарында орналастыру арқылы ±5% шегінде қалыңдығының біркелкілігін бақылау болып табылады.

Қабылдағыштар және алдын ала қыздыру сақиналары сияқты ыстық аймақ бөліктері үшін жабын химиялық тосқауыл және жылу жолының бір бөлігі болып табылады. Бірдей номиналды қалыңдықта жиек пен орталық арасындағы немесе ойықтар мен тегіс аумақтар арасындағы үлкен ауытқулар процесс терезесінің шетіндегі біркелкі ауытқуды күшейтуі мүмкін.

Қарауға болатын қалыңдыққа қатысты элементтер

• Номиналды қалыңдық пен төзімділік диапазоны (процесс пен бөлік құрылымына сәйкес келеді)

• Көп нүктелі біркелкілік (орталығын, шеттерін және құрылымдық өту аймақтарын жабу ұсынылады)

• Сыни және сыни емес беттердің арасындағы айырмашылықтар қолайлы ауқымда ма

2.Бөлшектерді бақылау үшін қандай сандық көрсеткіштер қажет?

Негізгі қорытынды:Бөлшектерді басқару «төмен бөлшектерде» тоқтай алмайды. Ол пайдалану кезінде бетінің тазалығына, тығыздығына және ұнтақты болу қаупіне түсуі керек. Инженерлік тәжірибе кірген кезде және құралды қолданар алдында тексеру элементтері ретінде аудан бірлігіне келетін бөлшектерді, беттің кедір-бұдырлығын және жабын тұтастығын жиі пайдаланады. Бөлшектердің мақсатты деңгейі ≤0,1/см² тәртібіне сілтеме жасай алады және әрбір зауыт процесінде қатайтылуы немесе босаңсытылуы мүмкін.

Эпитаксия және офорт бөлшектерге сезімтал. Егер жабын кеуекті, микро-жарылған немесе жергілікті тым қалың/жұқа болса, біраз қолданғаннан кейін оның бөлшектердің көзі болу ықтималдығы жоғары. Кіріс қабылдау кезінде бетінің жағдайын нақтылау проблемалар пайда болғаннан кейін кінәні тағайындаудан тиімдірек.

Бөлшектерді және беттік бақылау нүктелері

• Сыртқы түрі: біркелкі түсті, айқын шұңқырлар, көпіршіктер немесе қабаттасулар жоқ

• Бетінің кедір-бұдырлығы (Ra) келісілген диапазонда болуы

• Бөлшектер немесе тазалық туралы мәлімдемелер берілген бе (өзара келісілген сынақ әдістері бойынша)

3.Кіріс инспекциясында тазалықты, қалыңдығын және бетінің күйін қалай тексеруге болады?

Негізгі қорытынды:GDMS/ICP-OES тазалық есептерін, қалыңдығы мен біркелкі деректерін, сыртқы түрі мен маңызды өлшемдерін стандартты кіріс пакеті ретінде қарастыру ұсынылады. Қаптаманың тазалығы минутына 5 промилледен төмен болуы мүмкін; кейбір партиялар 99,99995% жетеді. Есептер қадағалану үшін нақты лоттар мен бөліктерге сәйкес келуі керек.

Орындалатын қабылдау тізімі ауызша «спецификацияға сәйкес келеді» дегеннен гөрі пайдалырақ. Келесі элементтерді зауыт талаптарына сай етіп, сатып алу және IQC құжаттарына жазуға болады.

Ұсынылатын кіріс тексеру тізімі

Құралды қолданар алдында температураның біркелкілігін және бөлшектердің өнімділігін үлгіні тексеру ұсынылады. Өткізу есебі процесс терезесінің ішіндегі оңтайлы өнімділікке кепілдік бермейді, бірақ ол құралға ақаулы топты шығару мүмкіндігін айтарлықтай азайтады.

4.Сапаны теңестіру бойынша инженерлерге арналған практикалық ұсыныстар

Негізгі қорытынды:Қалыңдықтың біркелкілігін, бөлшектерді/беттерді және тазалықты орындалатын қабылдау тармақтарына жазыңыз және есептерді лоттармен бір-бірден салыстыруды талап етіңіз. Аномалиялар орын алған кезде, алдымен сол лоттағы басқа құралдарды салыстырыңыз және өзгерістерді өңдеңіз, содан кейін материалды шешімді жаңарту керек пе деген шешім қабылдаңыз.

Ұсынылатын реттілік:

1. Сатып алу спецификациясында қалыңдыққа төзімділікті, біркелкі мақсатты, тазалық әдісі мен шектерін және сыртқы көрініс талаптарын анықтаңыз.

2. Кіріс кезінде есепті физикалық лотпен салыстырыңыз; сыни өлшемдер мен сыртқы көрініс үлгісі.

3. Жаңа партия немесе процесті өзгерткеннен кейін бөлшектер мен біркелкілікті тексеру үшін құралда шағын партияны іске қосыңыз.

4. Қолдану мерзімі немесе бөлшектер қалыпты емес болғанда, жабын деректерін және пеш/процесс шарттарын параллельді түрде зерттеңіз; бір себеппен атрибуциядан аулақ болыңыз.

5.Жағдайды зерттеу: орташа қалыңдық өткен, бірақ жиегі сәтсіз болған қабылдау аралығы

Негізгі қорытынды:Тек орташа қалыңдықты хабарлау жеткіліксіз. Шеткі және құрылымдық өтпелі аймақтардағы жергілікті жіңішкеру немесе қалыңдату бөлшектер мен жылу өрісінің қаупін тікелей арттырады. Қабылдауда тек дискілік орташа мәннің номиналды төзімділік шегіне түсуін ғана емес, көп нүктенің біркелкілігін және өлшеу орындарын көрсету керек.

Инженерлік ескерту:

Кейін аSiC эпитаксисіжелісі жаңа спецификацияны енгіздіCVD SiC қапталғанIQC жеткізушінің есебін тексерді: номиналды қалыңдығы мен дискінің орташа қалыңдығы келісілген төзімділік шегінде болды, GDMS тазалығы өтті және сыртқы түрі айқын ауытқуларды көрсетпеді, сондықтан лот құралға шығарылды. Жиырмаға жуық жүгіруден кейін кейбір науалар вафли жиегінің сәйкес аймағында көтеріліп жатқан бөлшектер мен жергілікті қабықтың жұқарғанын қайта-қайта көрсетті, ал сол партияның басқа науалары қалыпты жұмыс істеді. Бастапқыда технологиялық газды бөлу күдікті болды, бірақ сол камераны ескі спецификациядағы науаға ауыстырған кезде, шеткі мәселе жаңа партияның өзін көрсете отырып, анық төмендеді. Бір топтағы қалыпты бөлшектерге қарсы істен шыққан бөлшектердің көп нүктелік қалыңдығын өлшеу мынаны көрсетті: дискінің орташа мәні шынымен де ерекше болды, бірақ сыртқы сақинаға жақын нүктелер жүйелі түрде шамамен 8% -12% жұқа болды, бұл зауыттың ішкі біркелкі ±5% мақсатынан асып түсті; жіңішке зоналар жоғары бөлшектердің аймақтарымен қатты қабаттасады. Түбірлік себеп ойықтар мен сыртқы сақинадағы шөгу жылдамдығының осы құрылым үшін толық калибрленбегендігінен анықталды; шығыс есеп келісілген көп нүктелік бөлусіз орташа мәнді ғана қамтамасыз етті. Содан кейін сызық «орталық + жиек + ойықтың өтуі» көп нүкте біркелкілігін міндетті кіріс тексерулеріне және өлшеу нүктесі картасын қосу үшін қажетті есептерге жазды. Жеткізуші келесі лоттардағы сыртқы сақина процесінің терезесін реттегеннен кейін жиек бөлшектері мен пленка қалыңдығының вариациясы тарихи деңгейге оралды. Бұл жағдай көрсетеді: спецификациядағы орташа мән спецификациядағы біркелкілікті білдірмейді. Термосезімтал қабылдағыштар үшін көп нүктелі қалыңдығынсыз және орналасу деректерінсіз қабылдау желіде жергілікті ақауларға жол береді. Өлшеу нүктесінің орналасуын және ±5% сияқты біркелкі мақсатты спецификацияға жазу кейіннен «есеп қолайлы болды ма» деп даулаудан гөрі тиімдірек.

6.Жиі қойылатын сұрақтар

1. ±5% қалыңдықтың біркелкілігі міндетті стандарт па?

Бұл бірегей заңды стандарт емес, жалпы инженерлік мақсат. Бөлшектердің құрылымы мен процестің сезімталдығына байланысты жеткізушімен неғұрлым тығыз немесе сәл кеңірек ауқымды келісуге болады. Маңыздысы - өлшеу нүктесінің қамтылуы және есептің қадағалануы.

2. ≤0,1/см² барлық процестерге қатысты ма?

Бұл шаманың анықтамалық тәртібі. Қорытынды критерийлер спецификацияда жазылған сынақ әдісі мен пайымдау ережелерімен бірге зауыт камерасына, процеске және өнімге қойылатын талаптарға сай болуы керек.

3. Тазалық туралы есептің өзі жеткілікті ме?

Жоқ. Кем дегенде, тазалық, қалыңдық/біркелкі және сыртқы түрі (плюс келісілген бет өлшемдері) бірге қол жетімді болуы керек; өлшемді сәйкестік те құралды пайдалануға әсер етеді.

4. Есеп өтіп, бірақ құралдағы бөлшектер әлі де жоғары болса ше?

Алдымен сол лоттағы басқа құралдарды, соңғы процесс/техникалық қызмет көрсету өзгерістерін және тазалау күйін салыстырыңыз, содан кейін жабын ерітіндісін немесе процесс терезесін реттеу қажет пе екенін бағалаңыз. Қажет болса, таңдау-шешім және жабдық-үйлесімділік кластерінің беттерін өзара тексеріңіз.

5. VeTek сапаға қатысты қандай қолдау көрсете алады?

GDMS/ICP-OES және ұқсас талдау есептері, қалыңдығы мен біркелкі деректері, үлгіні тексеру және аномалиялар бойынша техникалық байланыс (соның ішінде ағылшын тілінде) қамтамасыз етілуі мүмкін.

7.Қорытынды және келесі қадамдар

Дұрыс материал таңдалғаннан кейін қалыңдықтың біркелкілігі, бөлшектерді бақылау және тазалық берілген партияның процесс терезесіне тұрақты түрде кіре алатынын шешеді. Осы үшеуін тексеруге болатын қабылдау ережелеріне жазу және есептерді лоттармен салыстыруды талап ету - құралдағы тәуекелді азайтудың ең тікелей жолы.

Белгілі бір бөлікті қабылдау көрсеткіштері немесе есептерді түсіндіруге көмектесу қажет болса, VeTek техникалық тобына хабарласуға болады. Доктор Сяо мен инженерлік топ спецификацияларды теңестіруге, үлгіні тексеруге және аномалияларды талдауға көмектесе алады.

Таңдау логикасы үшін мынаны қараңыз:VETEK | Процесс шарттары бойынша SiC жабыны, TaC жабыны немесе қатты SiC қалай таңдауға болады; толық құрылым үшін тірек бетін қараңызЭпитаксия және горизонт процестеріндегі CVD SiC, TaC және қатты SiC өнімділік шекаралары.

Негізгі сілтемелер және деректер көздері

1. VeTek Semiconductor ішкі инженерия және тұтынушыларды қабылдау тәжірибесі.

2. Жартылай өткізгішті эпитаксия және сызу жабдығына арналған CVD жабынының шығын материалдарын таңдау инженерлік анықтамалығындағы тазалық, қалыңдық біркелкілігі және бөлшектерді бақылау бойынша метрикалық сипаттамалар.

3. VeTek ресми веб-сайты өнімі және техникалық материалдары: https://www.veteksemicon.com/silicon-carbide-coating

Ескерту: Мәтіндегі біркелкілік, бөлшектер мен тазалық көрсеткіштері типтік инженерлік сілтемелер болып табылады; нақты мәндер келісім-шарт спецификацияларына және өлшенген нәтижелерге сәйкес келеді.

Авторы: VeTek Semiconductor Technical Engineering Team (доктор Сяоның басшылығымен аяқталды)

Қосымша техникалық талқылау немесе үлгіні бағалау үшін ресми веб-сайт арқылы бізге хабарласыңыз.