Изолятор вафлиіндегі кремний

Жұмыс принципіОл жартылай өткізгіш'SИзолятор вафлиіндегі кремнийНегізінен оның ерекше құрылымы мен материалдық қасиеттеріне сүйенеді. Жіне SOI вафлиҮш қабаттан тұрады: жоғарғы қабат - бұл бір кристалды кремний құрылғысы, ортасы - оқшаулағыш көмілген оксиді оксид (қорап) қабаты, ал төменгі қабаты - тірек силикон субстраты.

Инсультативті вафлидегі кремнийдің құрылымы (SOI)

Осуляция қабатын қалыптастыру: Исулятордың вафлиіндегі кремний әдетте Smart Cut ™ технологиясы немесе Simox (имплантацияланған оттегімен бөліну) көмегімен шығарылады. Smart Cut ™ технологиясы сутегі иондарын кремсон вафлиіне көпіршікті қабат қалыптастыруға, содан кейін сутегі индикаторы вафлиді тірек силиконға байланыстырадывафли. 

Термиялық өңдеуден кейін сутегі қабатталған вафли көпіршік қабатынан SII құрылымды қалыптастыру үшін бөлінген.Simox технологиясыЖоғары температурада кремний оксидінің қабатын қалыптастыру үшін жоғары қуатты оттегі иондары кремнигендік оттегі иондары.

Паразиттік сыйымдылықты азайту: Қораптың қабатыКарбид вафлиҚұрылғы қабаты мен кремнийді тиімді оқшаулап, айтарлықтай өзгертедіg паразиттік сыйымдылық. Бұл оқшаулау қуатты тұтынуды азайтады және құрылғының жылдамдығы мен жұмысын арттырады.

Бекіткіш әсерінен аулақ болыңыз: N-ұңғыма және P-ұңғымалық құрылғыларSOI вафлидәстүрлі CMOS құрылымдарында тығыздаудан аулақ болғандықтан, толығымен оқшауланған. Бұл мүмкіндік бередівафли SII жоғары жылдамдықпен өндірілуі керек.

Etch тоқтату функциясы::Бір кристалды кремний құрылғысы қабатыSOI вафлиінің қорапша қабаты мемсорлық және оптоэлектрондық құрылғыларды өндіруді жеңілдетеді, керемет ETCH тоқтату функциясын ұсынады.

Осы сипаттамалары арқылыИзолятор вафлиіндегі кремнийжартылай өткізгіштерді өңдеуде маңызды рөл атқарады және интеграцияланған тізбектің (IC) үздіксіз дамуына ықпал етеді жәнеМикроэлектрхимханикалық жүйелер (MEMS)Өнеркәсіп. Біз сіздермен әрі қарай қарым-қатынас пен ынтымақтастықты шын жүректен күтеміз.

200 мм Соль Вафлидің сипаттамасы параметрі:

Иссуляциялық вафли өндірістік цехтарындағы кремний: