SiC қапталған эпи рецепторы

Сіз өз зауытынан SIC жабылған эпи сезімін сатып алуға сендіре аласыз.

Ветек жартылай өткізгіш SIC жабылған EPI Succeptor - эпитаксилі баррель - бұл көптеген артықшылықтары бар эпитактивті өсу процесінің арнайы құралы:

● Тиімді өндірістік қуат: VeTek Semiconductor SiC қапталған эпи-сусепторы бірнеше пластинаны орналастыра алады, бұл бір уақытта бірнеше пластинаның эпитаксиалды өсуін орындауға мүмкіндік береді. Бұл тиімді өндірістік қуат өндіріс тиімділігін айтарлықтай арттырып, өндірістік циклдар мен шығындарды азайтады.

● Оңтайландырылған температура бақылауы: SIC қапталған EPI сезімталдығы, температураны дәл бақылау және сақтау үшін жетілдірілген температураны басқару жүйесімен жабдықталған. Температураның тұрақты бақылауы эпитаксиальды қабаттың бірыңғай өсуіне қол жеткізуге және эпитаксиальды қабаттың сапасы мен дәйектілігін арттыруға көмектеседі.

● Атмосфераның бірыңғай таралуы: SIC қапталған EPI сезімтурасы өсу кезінде бірыңғай атмосфераны таратуды қамтамасыз етеді, әр вафлидің атмосфералық жағдайларға ұшырауын қамтамасыз етеді. Бұл вафли арасындағы өсудің айырмашылықтарын болдырмауға және эпитаксиальды қабаттың біркелкілігін жақсартады.

● Тиімді қоспаны басқару: SIC жабылған EPI сезімталдық дизайны қоспалардың енгізілуін және таралуын азайтуға көмектеседі. Ол герметикалық және атмосфералық бақылауды ұсына алады, қоспалардың эпитаксиальды қабаттың сапасына әсерін азайтады, осылайша құрылғының жұмысы мен сенімділігін арттыруы мүмкін.

● икемді процесті дамыту: EPI сезімтасымен өсу параметрлерін тез реттеуге және оңтайландыруға мүмкіндік беретін икемді процестерді дамыту мүмкіндіктері бар. Бұл зерттеушілер мен инженерлерге әр түрлі қосымшалар мен талаптардың эпитаксиалды өсу қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін жедел процесті дамыту мен оңтайландыруды жүргізуге мүмкіндік береді.