Алдын-ала жылу сақинасы

Алдын ала қыздыру сақинасы жартылай өткізгіш өндірісіндегі эпитаксиалды (EPI) процесс үшін арнайы әзірленген негізгі жабдық болып табылады. Ол эпитаксиалды өсу бойында температураның тұрақтылығын және біркелкілігін қамтамасыз ете отырып, EPI процесіне дейін пластиналарды алдын ала қыздыру үшін қолданылады.

Ветек жартылай өткізгіштерімен өндірген, біздің EPI-ден асыл жылу сақинасы бірнеше маңызды ерекшеліктер мен артықшылықтарды ұсынады. Біріншіден, ол жоғары жылу өткізгіштік материалдарының көмегімен салынады, вафли бетіне тез және біркелкі жылу беруге мүмкіндік береді. Бұл эпитаксиальды қабаттың сапасы мен біркелкілігін жоғарылатуды және дәйекті түрде тұндыруды және температуралық градиенттердің пайда болуына жол бермейді. Сонымен қатар, біздің EPI Pre Heat Ring алдын ала қыздыру температурасын дәл және дәйекті басқаруға мүмкіндік беретін жетілдірілген температураны басқару жүйесімен жабдықталған. Бұл басқару деңгейі EPI процесі кезінде кристалдардың өсуі, материалдың тұнбасы және интерфейс реакциялары сияқты маңызды қадамдардың дәлдігі мен қайталану мүмкіндігін арттырады.

Тұрақтылық пен сенімділік біздің өнім дизайнының маңызды аспектілері болып табылады. EPI алдын ала қыздыру сақинасы ұзақ уақыт бойы тұрақтылық пен өнімділікті сақтай отырып, жоғары температура мен жұмыс қысымына төтеп беру үшін жасалған. Бұл дизайн тәсілі техникалық қызмет көрсету және ауыстыру шығындарын азайтып, ұзақ мерзімді сенімділік пен пайдалану тиімділігін қамтамасыз етеді. EPI алдын ала қыздыру сақинасын орнату және пайдалану қарапайым, өйткені ол жалпы EPI жабдығымен үйлесімді. Ол ыңғайлылық пен жұмыс тиімділігін арттыратын, қолданушыға ыңғайлы пластинаны орналастыру және алу механизмін ұсынады.

Vetek жартылай өткізгіште біз сонымен қатар клиенттердің нақты талаптарын қанағаттандыру үшін теңшелетін қызметтерді ұсынамыз. Бұған EPI-ге дейінгі жылу сақинасының өлшемі, пішіні және температуралық диапазоны бірегей өндірістік қажеттіліктермен туралануды қамтиды. Эпитаксиалды өсу және жартылай өткізгіш құрылғыларды өндірумен айналысатын зерттеушілер мен өндірушілер үшін VeTek Semiconductor ұсынған EPI Pre Heat Ring ерекше өнімділік пен сенімді қолдауды қамтамасыз етеді. Ол жоғары сапалы эпитаксиалды өсуге қол жеткізуде және жартылай өткізгіш құрылғыларды өндірудің тиімді процестерін жеңілдетуде маңызды құрал ретінде қызмет етеді.

CVD SIC фильмінің SEM ДЕРЕКТЕРІ