MOCVD SiC қапталған сенсоры

Техникалық параметрлер

CVD SIC ПЛОНКА КРИСТАЛДЫҚ ҚҰРЫЛЫМЫ

Өнімнің анықтамасы және құрамы

VETEK MOCVD SiC қапталған жұтқышы - GaN және SiC сияқты үшінші буын жартылай өткізгіштерді эпитаксиалды өңдеу үшін арнайы жасалған пластинаны тасымалдаушы жоғары сапалы құрамдас. Бұл өнім екі жоғары өнімді материалдың жоғары физикалық қасиеттерін біріктіреді:

Жоғары таза графит субстрат: Негізгі материалдың ерекше құрылымдық тұтастығын, жоғары тығыздықты және термиялық өңдеу тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін изостатикалық престеу технологиясын қолдану арқылы жасалған.

CVD SiC жабыны: Тығыз, кернеусіз кремний карбиді (SiC) қорғаныс қабаты графит бетінде озық химиялық буларды тұндыру (CVD) технологиясы арқылы өсіріледі.

Неліктен VETEK сіздің кірістілігіңізге кепілдік береді

Жылу біркелкілігін бақылаудағы ең жоғары дәлдік: Кәдімгі тасымалдаушылардан айырмашылығы, VETEK сенсорлары жабын қалыңдығы мен термиялық кедергіні нанометрлік масштабтағы дәлдікпен басқару арқылы бүкіл бет бойынша жоғары синхрондалған жылу беруді қамтамасыз етеді. Бұл күрделі термиялық басқару пластинаның бетіндегі толқын ұзындығының стандартты ауытқуын (STD) тиімді түрде азайтып, бір пластинаның сапасын да, жалпы партияның консистенциясын да айтарлықтай арттырады.

Нөлдік бөлшектердің ластануымен ұзақ мерзімді қорғаныс: Жоғары коррозиялық газдары бар MOCVD реакция камераларында қарапайым графит тұғырлары бөлшектердің қабыршақтанып кетуіне бейім. VETEK CVD SiC жабыны графит микрокеуектерін жабатын өтпейтін қалқан ретінде әрекет ететін ерекше химиялық инерттілікке ие. Бұл GaN немесе SiC эпитаксиалды қабаттарының кез келген ластануын болдырмай, субстрат қоспаларының толық оқшаулануын қамтамасыз етеді.

Шаршауға ерекше төзімділік және қызмет ету мерзімі:VETEK компаниясының меншікті интерфейсті өңдеу процесінің арқасында біздің SiC жабынымыз графит субстратымен оңтайландырылған термиялық кеңею сәйкестігіне қол жеткізеді. Төтенше температуралар арасындағы жоғары жиілікті термиялық цикл жағдайында да жабын пиллингсіз немесе микро жарықтарсыз жоғары адгезияны сақтайды. Бұл қосалқы бөлшектерге техникалық қызмет көрсету жиілігін айтарлықтай азайтады және иеленудің жалпы құнын төмендетеді.

Біздің шеберхана