CVD TAC жабыны тасымалдаушысы

Ветек жартылайдюсторы - China CVD CVD TAC CAT TAC CAT CATER, Epitaxy Susceptor,TAC қапталған графитті қолдауӨндіруші.

Үздіксіз процесс және материалдық инновациялық зерттеулер арқылы Ветек жартылай өткізгіштің CVD TAC TAC жабыны тасымалдаушысы эпитаксиальды процесте өте маңызды рөл атқарады, негізінен келесі аспектілер:

Субстрат қорғанысы: CVD TAC жабыны тасымалдаушысы жақсы химиялық тұрақтылық пен жылу тұрақтылығын қамтамасыз етеді, жоғары температура мен коррозиялық газдарды субстрат пен реактордың ішкі қабырғасын және технологиялық ортаның тұрақтылығын қамтамасыз ететін жоғары температура мен коррозиялық газдармен қамтамасыз етеді.

Жылу біркелкілігі: CVD TAC жабыны тасымалдаушысының жоғары жылу өткізгіштігімен біріктіріліп, ол реакторда температураның таралуының біркелкілігін және эпитаксиальды қабаттың қалыңдығына оңтайландырады және эпитаксиальды қабаттың қалыңдығын оңтайландырады және қорытынды өнімнің тиімділігін арттырады.

Бөлшектердің ластануын бақылау: CVD TAD CWD CWD CAT CARLERS бөлшектер өндірудің тарифтері өте төмен болғандықтан, тегіс беткі қасиеттері бөлшектердің ластану қаупін айтарлықтай азайтады, осылайша эпитаксиальды өсу кезінде тазалық пен өнімді жақсартады.

Кеңейтілген жабдықтың өмірі: Тамаша тозуға төзімділік пен CVD TAC жабынының коррозияға төзімділігімен біріктірілген, ол реакциялық камера құрамдас бөліктерінің қызмет ету мерзімін едәуір кеңейтеді, жабдықты тоқтап, техникалық қызмет көрсету шығындарын азайтады және өндіріс тиімділігін арттырады.

Жоғарыда көрсетілген сипаттамаларды біріктіру, Ветек жартылай өткізгіштің CVD TAC жабыны тасымалдаушысы эпитаксиальды өсу процесінде процестің сенімділігі мен өнімнің сапасын жақсартып қана қоймайды, сонымен қатар жартылай өткізгіш өндіріске арналған үнемді шешім ұсынады.

Микроскопиялық көлденең қимада тантал карбиді:

CVD TAC жабынының физикалық қасиеттері:

Ветек жартылай өткізгіш CVD, SIC жабыны: