Вафельді тасымалдаушыға арналған CVD SiC қапталған графитті қабылдағыш

1. Өнімнің артықшылықтары

• Тазалығы жоғары материал:Жартылай өткізгіштегі графит материалы және тығыз SiC жабыны құрылымы ластану қаупін азайтады және CVD SiC қапталған графит сенсорының сенімділігін арттырады.
• Тамаша жылу біркелкілігі:Оңтайландырылған графит құрылымы және SiC жабыны тұрақты жылу беруді және пластинаның температурасын біркелкі бақылауды қамтамасыз етеді.
• Жоғары химиялық төзімділік:Тығыз SiC жабыны технологиялық газдар мен коррозиялық орталарға күшті қарсылық көрсетеді.
• Ұзақ қызмет ету мерзімі:Жоғары қаттылық пен тозуға төзімділік жоғары температуралық эпитаксистік жағдайларда төзімділікті жақсартады.
• Төмен бөлшектердің генерациясы:Тығыз CVD SiC беті бөлшектердің бөлінуін азайтады және вафли процесінің сенімділігін жақсартады.
• Арнайы дизайн мүмкіндігі:Жабдық талаптарына сәйкес әртүрлі өлшемдерде, құрылымдарда және конфигурацияларда қол жетімді.

2. Техникалық сипаттамалар

3. Қолданбалар

• SiC эпитаксия процесі:Графиттік сезімталдық жоғары температурадағы эпитаксиалды өсу кезінде SiC субстраттарын қолдайтын SiC эпитаксистік жабдығында вафельді тасымалдаушы ретінде пайдаланылады.
• Кремний эпитаксисі процесі:Пластиналарды қолдау және тұрақты жылу жағдайларын сақтау үшін кремний эпитаксиалды реакторларында қолданылады.
• MOCVD эпитаксисі:VETEK графит қабылдағыштары MOCVD, жарықдиодты эпитаксия, GaN эпитаксисі, кремний эпитаксисі және тамаша жылу біркелкілігі мен химиялық тұрақтылықты қажет ететін басқа жартылай өткізгіштерді өндіру процестеріне жарамды.
• Жартылай өткізгіштерді өндіруге арналған жабдықтар:Түрлі эпитаксистік платформалармен, соның ішінде LPE көлденең пештерімен, Aixtron, NuFlare және сәйкес жартылай өткізгіш жабдықтармен үйлесімді.

4. Неліктен VETEK таңдау керек?

VETEK графитті тазартуды, дәл өңдеуді, CVD жабындарын және тексеру мүмкіндіктерін біріктіретін CVD SiC жабыны бар графит қабылдағыш шешімдерін ұсынады. Жартылай өткізгіштегі графит қабылдағыш өнімдерімізде жоғары тазалық, біркелкі жабын қалыңдығы, тамаша термиялық өнімділік және вафельді тасымалдауды қажет ететін қолданбалар үшін ұзақ қызмет ету мерзімі бар.