Жаңалықтар

Кремний карбид Наноматериалдар (SIC) - бұл нанометр шкаласында кемінде бір өлшемі бар материалдар (1-100nm). Бұл материалдар нөлдік, бір, екі немесе үш өлшемді болуы мүмкін және алуы мүмкін.

CVD SIC - бұл химиялық будың тұндыру арқылы шығарылған жоғары сапалы кремний карбиді материалы. Ол негізінен жартылай өткізгіш қондырғылардағы түрлі компоненттер мен жабындар үшін қолданылады. Төмендегі мазмұн - бұл өнімнің жіктемесіне және CVD CIC негізгі функцияларына кіріспе

Бұл мақала негізінен жартылай өткізгіштерді өңдеудегі TAC жабынының өнім түрлерін, өнім сипаттамаларын және негізгі функцияларын енгізеді және TAC жабыны өнімдерін кешенді талдау және түсіндіру жұмыстарын жасайды.

Бұл мақала негізінен жартылай өткізгішті өңдеуде MOCVD сезімталдық өнімдерінің, өнімнің сипаттамаларын, өнім сипаттамаларын және негізгі функцияларын енгізеді және тұтастай алғанда MOCVD сезімталдық өнімдерін кешенді талдау және түсіндіру жұмыстарын жасайды.

ASM үшін SiC жабынымен қапталған графит сенсоры эпитаксистік жүйенің ішіндегі ауыстыру бөлігі ғана емес. Бұл жылу біркелкілігіне, пластинаның тазалығына, жабынның беріктігіне, камераның тұрақтылығына және ұзақ мерзімді өндіріс құнына әсер ететін процесс үшін маңызды тасымалдаушы.

CVD TaC жабыны тек қорғаныс қақпағы немесе қапталған графит құрамдас бөлігі емес. Жоғары температурадағы жартылай өткізгіш процестерде ол камера тазалығына, термиялық тұрақтылыққа, бөліктің қызмет ету мерзіміне және процестің консистенциясына әсер етуі мүмкін.