CVD SIC жабыны қорғаушысы

Өнімді орналастыру және негізгі функциялар:

CVD SIC жабынының қорғаушысы - бұл негізінен реакция камерасының ішкі құрылымын қорғау және процестердің тұрақтылығын жақсарту үшін пайдаланылатын LPE кремний карбидінің эпитакситтік жабдықтарындағы негізгі компонент болып табылады. Оның негізгі функциялары:

Коррозиядан қорғау: химиялық будың тұндыруы (CVD) процесі химиялық бумені (CVD) құрайтын кремний карбиді қабаты хлор / фтор плазмасының химиялық коррозиясына қарсы тұра алады және жабдықтар сияқты қатал ортаға жарамды;

Жылуды басқару: кремний карбиді материалының жоғары жылу өткізгіштігі реакция камерасындағы температураның біркелкілігін оңтайландырады және эпитаксиальды қабаттың сапасын жақсартуы мүмкін;

Ластануды азайту: төселген компонент ретінде, ол протевай өнімдерді Палатаға тікелей байланысуға және жабдықтың техникалық қызмет көрсету циклын кеңейтуге жол бермейді.

Техникалық сипаттамалары және дизайны:

Құрылымдық дизайн:

Әдетте сақиналы қорғаныс құрылымын қалыптастыру үшін науаның айналасындағы жоғарғы және төменгі жарты ай бөліктеріне бөлінеді;

Ауа ағынының таралуын және плазмалық фокустық эффектілерді оңтайландыру үшін науалар мен газ душының бастары сияқты компоненттермен ынтымақтастық.

Қаптау процесі:

CVD әдісі жоғары тазалыққа арналған, ± 5% және бетінің кедір-бұдырлығы ± 5.5 мкм-ге дейін;

Әдеттегі қаптаудың қалыңдығы 100-300 мкм, сондықтан ол 1600 ℃ жоғары температуралы ортаға төтеп бере алады.

Қолдану сценарийлері және өнімділік артықшылықтары:

Қолданыстағы жабдықтар:

Негізінен LPE-дің 8 дюймдік 8 дюймдік кремний карбидінің эпитакситтік пештері үшін қолданылады, SIC HomoePitaxial өсуін қолдау;

Жабдықтарды, MOCVD жабдықтарын және жоғары коррозияға төзімділікті қажет ететін басқа сценарийлер үшін жарамды.

Негізгі көрсеткіштер:

Жылу кеңею коэффициенті: 4,5 × 10⁻⁶ / k (жылу кернеуін азайту үшін графит субстратымен сәйкестендіру);

Төзімділік: 0,1-10 · · CM (өткізгіштікке қойылатын талаптар);

Қызмет мерзімі: дәстүрлі кварц / кремний материалдарынан 3-5 есе ұзағырақ.

Техникалық кедергілер мен қиындықтар

Бұл өнімнің технологиялық қиындықтарын (мысалы, жиектерді өтеу) және субстраттық жабын интерфейске арналған интерфейсті байланыстыру (≥30MPA), және сонымен бірге LPE жабдықтарының жоғары жылдамдықты айналуына және температуралық деңгейге сәйкес келуі керек.