Жаңалықтар

Бұл мақалада бірнеше перспективалардан тантал карбидінің жабыны мен кремний карбидінің жабынының сипаттамалары мен қолданбалы сценарийлері талданады.

Жіңішке пленкамен тұнба чиптерде, микро құрылғыларды CVD, ALD немесе PVD арқылы 1 микроннан жасалған пленкаларды салу арқылы жасайды. Бұл процестер ауыспалы өткізгіш және оқшаулағыш қабықшалар арқылы жартылай өткізгіш компоненттер құрастырады.

Жартылай өткізгішті өндіретін процесс сегіз қадамды қамтиды: вафли, тотығу, литография, литография, игеру, жұқа пленкалар, коннекторлық, сынау және қаптама. Құмнан кремний вафлиге өңделеді, тотығады, өрнектелген және жоғары дәлдіктер үшін өткізіледі.