Өнеркәсіп жаңалықтары

Бұл мақала негізінен жартылай өткізгішті өңдеуде MOCVD сезімталдық өнімдерінің, өнімнің сипаттамаларын, өнім сипаттамаларын және негізгі функцияларын енгізеді және тұтастай алғанда MOCVD сезімталдық өнімдерін кешенді талдау және түсіндіру жұмыстарын жасайды.

ASM үшін SiC жабынымен қапталған графит сенсоры эпитаксистік жүйенің ішіндегі ауыстыру бөлігі ғана емес. Бұл жылу біркелкілігіне, пластинаның тазалығына, жабынның беріктігіне, камераның тұрақтылығына және ұзақ мерзімді өндіріс құнына әсер ететін процесс үшін маңызды тасымалдаушы.

CVD TaC жабыны тек қорғаныс қақпағы немесе қапталған графит құрамдас бөлігі емес. Жоғары температурадағы жартылай өткізгіш процестерде ол камера тазалығына, термиялық тұрақтылыққа, бөліктің қызмет ету мерзіміне және процестің консистенциясына әсер етуі мүмкін.

PECVD өндірісінде көптеген жабу және тұндыру мәселелері плазма қуатымен немесе газ химиясынан басталмайды. Олар пластиналарды ұстайтын тасымалдаушыдан басталады.

Жартылай өткізгіш кварцты дұрыс таңдау сатып алудың ұсақ-түйегі емес. Ол балқыма тазалығына, термиялық тұрақтылыққа, кристалды тарту консистенциясына, шығымдылықты бақылауға және бүкіл өсу сызығының қызмет көрсету ырғағына тікелей әсер етеді.

Жоғары тазалықтағы графит ұнтағы жартылай өткізгіштер өндірісінде, фотоэлектрлік өндірісте, озық керамикада және жоғары температуралы өнеркәсіптік процестерде маңызды материал болды. Бірақ жоғары тазалықтағы графит ұнтағын нақты не анықтайды және неге ол талап етілетін ортада стандартты графит материалдарынан асып түседі?