Өнеркәсіп жаңалықтары

Кварцтық қайық - жартылай өткізгішті өндіру процесінде қолданылатын негізгі жүктеме құрамы. Ол негізінен диффузия, тотығу және тазарту сияқты вафлиді жоғары температурада өңдеу үшін қолданылады. Оның керемет жылу тұрақтылығы, ластану сипаттамалары мен коррозияға төзімділігі оны жартылай өткізгіш өнеркәсіпте ажырамас материал етеді. Бұл мақалада кварц қайықының материалдық, физикалық қасиеттері, жіктелуі, қолдану сценарийлері және оның PECVD графит қайықтағы айырмашылықтары туралы әзірленеді.

Pecvd графиті қайығының негізгі материалы - жоғары тазалық изотропты графит материалы (тазалық әдетте ≥99.999%), олар өте электр өткізгіштік, жылу өткізгіштік және тығыздығы бар. Кәдімгі графиттік қайықтармен салыстырғанда, PECVD графиттік қайықтарымен салыстырғанда көптеген физикалық және химиялық заттардың артықшылықтары бар және негізінен жартылай өткізгіштер мен фотоэлектрлік салаларда, әсіресе Pecvd және CVD процестерінде қолданылады.

Эпитаксиальды процесте Mocvd графит науалары маңызды рөл атқарады. Бұл мақала материалдық қасиеттердің және қолдану сценарийлерінің перспективаларынан MOCVD графит науаларын таңдауда егжей-тегжейлі талдау жасайды.