Өнеркәсіп жаңалықтары

Жоғары тазалық: химиялық бумен тұндыру (CVD) өсірілген кремний эпитаксилі қабаты өте жоғары тазалыққа ие, бұл дәстүрлі вафлиге қарағанда, таза, тегіс және төменгі ақаулық тығыздығы бар.

Қатты кремний карбиді (SIC) өзінің ерекше физикалық қасиеттеріне байланысты жартылай өткізгіш өндірісіндегі негізгі материалдардың бірі болды. Төменде оның артықшылықтары мен практикалық құндылықтарын талдау және оның физикалық қасиеттері мен жартылай өткізгіш жабдықтарындағы нақты қосымшалары (мысалы, вафли, душ жетектері, фокус сақиналары және т.б.) қолданылады.