Өнеркәсіп жаңалықтары

Кварц өнімдері жартылай өткізгішті өндіретін процесте олардың жоғары тазалығына, температураға төзімділігіне және күшті химиялық тұрақтылықтан кеңінен қолданылады.

Кремний карбиді (SIC) кристалды өсу пеші келесі буындық жартылай өткізгіш құрылғыларға арналған жоғары сапалы ӘЖ-нің вафли өндірісінде маңызды рөл атқарады. Алайда, жоғары сапалы SIC кристалдарын өсіру процесі айтарлықтай қиындықтарды ұсынады. Термиялық градиенттерді басқарудан бастап кристалды ақауларды азайту, біркелкі өсуді қамтамасыз ету және өндіріс шығындарын бақылау және әр қадам, әр қадам озық инженерлік шешімдерді қажет етеді. Бұл мақалада SIC Crystal өсу пешінің техникалық мәселелерін бірнеше перспективалардан талдайды.

Smart Cut - ультра жұқа және жоғары біртекті және жоғары біркелкі 3С-секті (кубикалық кремний карбиді) ультрадыбыспен және вафлиге негізделген жартылай өткізгішті шығару процесі. Ол ультра жұқа кристалды материалдарды бір субстраттан екінші субстраттан екіншісіне жеткізе алады, осылайша бастапқы физикалық шектеулерді бұзады және бүкіл субстрат саласын өзгертуі мүмкін.