Өнеркәсіп жаңалықтары

​Кремний карбиді (SiC) PVT өсуі қатты термиялық циклді қамтиды (бөлме температурасы 2200 ℃ жоғары). Термиялық кеңею коэффициенттерінің (CTE) сәйкес келмеуіне байланысты жабын мен графит астары арасында пайда болатын орасан зор термиялық кернеу жабынның қызмет ету мерзімі мен қолдану сенімділігін анықтайтын негізгі мәселе болып табылады.

​Кремний карбиді (SiC) PVT кристалының өсу процесінде жылу өрісінің тұрақтылығы мен біркелкілігі кристалдың өсу жылдамдығын, ақау тығыздығын және материалдың біркелкілігін тікелей анықтайды. Жүйе шекарасы ретінде жылу өрісінің құрамдас бөліктері беттік термофизикалық қасиеттерді көрсетеді, олардың шамалы ауытқулары жоғары температура жағдайында күрт күшейеді, сайып келгенде өсу интерфейсінде тұрақсыздыққа әкеледі.

Физикалық буларды тасымалдау (PVT) әдісі арқылы кремний карбидінің (SiC) кристалдарын өсіру процесінде 2000–2500 °C шектен тыс жоғары температура «екі қырлы қылыш» болып табылады — ол бастапқы материалдарды сублимациялауды және тасымалдауды жүргізе отырып, сонымен қатар барлық кен орындарындағы металдар жүйесіндегі қоспалардың бөлінуін күрт күшейтеді. кәдімгі графит ыстық аймақ компоненттері. Бұл қоспалар өсу интерфейсіне енгеннен кейін олар кристалдың негізгі сапасына тікелей зиян келтіреді. Бұл тантал карбидінің (TaC) жабындарының PVT кристалының өсуі үшін «қосымша таңдау» емес, «міндетті нұсқаға» айналуының негізгі себебі.