Кремний карбиді жабыны

Қытайдың жоғарғы шикі зауыты-Ветек жартылай өткізгіші дәл өңдеу және жартылай өткізгіш және TAC жабыны мүмкіндіктерін біріктіреді. BART TYPE SI EPI Supceptor температура мен атмосфералық бақылау мүмкіндіктерін қамтамасыз етеді, жартылай өткізгіштің эпитактивті өсу процестеріндегі өндіріс тиімділігін арттырады.

Кремний карбиді мен тантал карбиді жабындарының отандық жетекші өндірушісі ретінде VeTek Semiconductor компаниясы SiC Coated Epi Susceptor-ды дәл өңдеуді және біркелкі жабуды қамтамасыз ете алады, жабынның тазалығын және өнімнің 5 ppm төмен деңгейін тиімді бақылайды. Өнімнің қызмет ету мерзімі SGL мерзімімен салыстырылады. Бізді сұрауға қош келдіңіз.

Тегіс сезімталдық және баррель Сусептор - EPI Susceptors. Scretication Set SEACE PE2061s 4 «WAPERS үшін. Графит материалының және SIC жабынының сәйкестігі жақсы, біркелкілік өте жақсы, ал LPE (сұйық фазалық эпитакси) процес. Біз сіздерді Қытайдағы зауытқа келуге қош келдіңіздер.

Aixtron G5 Mocvd жүйесі графит материалынан, кремний карбидімен қапталған графит, кварц, кварц, қатаң киізден жасалған материал және т.б. Ветек жартылай өткізгіш осы жүйеге арналған компоненттер жиынтығын теңшей алады және өндіре алады. Біз көптеген жылдар бойы жартылай өткізгіш графитпен және кварц бөліктеріне мамандандық.

Бөшке түрінде эпитаксиальды вафлидің епферлеу базасы - күрделі өңдеу технологиясы бар өнім, бұл өңдеу жабдықтары мен қабілеттерге өте қиын. Ветек Жартылайструктордың эпиге арналған графитті графиттерін өңдеуде озық жабдықтары және бай тәжірибесі бар, EPI-ге арналған графитті баррельдік зауыттық өмірге, сонымен қатар, сіз біздің деректерімізге қызығушылық танытатындай етіп, бізге хабарласыңыз.

SIC қапталған графитті дефекторлық тевтикалық дефектор бір кристалды пештің жабдықтарындағы негізгі компонент болып табылады, оның міндеті - балқытылған материалды кристалды өсу аймағынан үздіксіз бағыттау және жалғыз кристалды өсудің сапасы мен формасы. Қосымша мәліметтер алу үшін графит пен SIC жабынын да қамтамасыз етіңіз.