Өнеркәсіп жаңалықтары

Мақалада SIC TRIC-тің квдометрлік өсуі үшін CVD TAC жабынды процесі, мысалы, материалдық және тазалық, технологиялық параметрлерді оңтайландыру, жабуға арналған жабдықтарды және технологиялық тұрақтылық, қоршаған ортаны қорғау және шығындарды бақылау сондай-ақ тиісті салалық шешімдер.

SiC монокристалының өсуін қолдану тұрғысынан бұл мақала TaC жабыны мен SIC жабынының негізгі физикалық параметрлерін салыстырады және жоғары температураға төзімділік, күшті химиялық тұрақтылық, төмендетілген қоспалар және төмен шығындар.

FAB зауытында өлшеу жабдықтарының көптеген түрлері бар. Жалпы жабдыққа литографиялық процесті өлшеу жабдықтары, процестің өлшеу жабдықтарын, жіңішке пленкамен тұндыру технологиялық жабдықтар, допинг процесін өлшеу жабдықтары, CMP процесін өлшеу жабдықтары, вафлиді өлшеу жабдықтары, вафлиді өлшеу жабдықтары және басқа да өлшеу жабдықтары.