Жаңалықтар

Бұл мақалада жаңа жобаланған PE1O8 ыстық қабырға CVD реакторларында LPE-дің ыстық-қабырға CVD реакторларында және оның 200мм-СӨЖ 4H-SIC-тің 4h-эпитаксиін орындау қабілеті енгізілген.

Электроника, оптоэлектроника және басқа салалардағы SIC материалдарына сұраныс өсіп, SIC бірыңғай кристалды өсу технологиясын дамыту ғылыми-технологиялық инновацияның негізгі бағыты болады. SIC бірыңғай кристалды өсу жабдықтарының өзегі, жылу доптарының дизайны кеңірек және терең зерттеулер жүргізуді жалғастырады.

Үздіксіз технологиялық прогресс пен механизмді терең зерттеу арқылы 3C-SiC гетероэпитаксиалды технологиясы жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде маңызды рөл атқарады және жоғары тиімді электронды құрылғылардың дамуына ықпал етеді деп күтілуде.