Жаңалықтар

SiC диффузиялық пеш түтігі ерекше термиялық тұрақтылығының, химиялық төзімділігінің және ұзақ қызмет ету мерзімінің арқасында заманауи жартылай өткізгіштер өндірісінің маңызды құрамдас бөлігі болды. Бұл мақала VeTek диффузиялық пештің өнімділігін арттыратын, пластинаның сапасын жақсартатын және жалпы өндіріс шығындарын азайтатын кеңейтілген SiC шешімдерін қалай беретінін зерттейді. Сіз оның құрылымын, артықшылықтарын, қолданбаларын, техникалық сипаттамаларын және неліктен дәстүрлі кварц пен алюминий оксиді түтіктерін көбірек ауыстыратынын білесіз.

Жартылай өткізгішті өндіру, кристалды өсіру технологиясы және алдыңғы қатарлы материалды өңдеу дамып келе жатқандықтан, өте таза және термиялық тұрақты компоненттерге сұраныс айтарлықтай өсті. Осы маңызды компоненттердің ішінде шыны тәрізді көміртегімен қапталған графит тигелі жоғары температура және жоғары тазалық орталары үшін ең сенімді шешімдердің бірі ретінде пайда болды.

Жартылай өткізгіштер өндірісі жоғары дәлдікке, тазалыққа және термиялық тұрақтылыққа қарай дамитындықтан, жетілдірілген жабын материалдары технологиялық жабдықтың маңызды компоненттеріне айналды. Олардың ішінде тантал карбиді жабын сақинасы жоғары температураға, коррозияға, плазмалық эрозияға және бөлшектердің ластануына ерекше төзімділігімен ерекшеленеді.