Өнеркәсіп жаңалықтары

Үздіксіз технологиялық прогресс пен механизмді терең зерттеу арқылы 3C-SiC гетероэпитаксиалды технологиясы жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде маңызды рөл атқарады және жоғары тиімді электронды құрылғылардың дамуына ықпал етеді деп күтілуде.

Кеңістіктік ALD, кеңістікте оқшауланған атом қабатының тұнбасы. Вафли әртүрлі позициялар арасында жылжиды және әр позицияда әртүрлі прекурсорларға ұшырайды. Төмендегі сурет дәстүрлі ALD мен кеңістікте оқшауланған ALD арасындағы салыстыру болып табылады.

Жақында неміс ғылыми-зерттеу институты Fraunhofer IISB тантал көлігінің жабыны технологиясын зерттеу мен игеруге серпіліс жасады және CVD-дің тұндыру шешіміне қарағанда икемді және экологиялық таза, бұл икемді және экологиялық таза, бұл икемді және экологиялық таза.