Жаңалықтар

Интегралды схемаларды немесе жартылай өткізгіш құрылғыларды тамаша кристалды негіз қабатында құру өте қолайлы. Жартылай өткізгіштерді өндірудегі эпитаксистік (эпи) процесі бір кристалды субстратқа әдетте шамамен 0,5-тен 20 мкм-ге дейінгі жұқа бір кристалды қабатты қоюға бағытталған. Эпитаксия процесі жартылай өткізгіш құрылғыларды өндірудегі маңызды қадам болып табылады, әсіресе кремний пластинасын өндіруде.

Эпитакси мен атом қабаттарының тұндыруының басты айырмашылығы (ALD) олардың кино өсу механизмдері мен жұмыс жағдайында жатыр. Эпитакси жатады, яғни кристалды субстратқа кристалды субстратқа ұқсас, белгілі бір немесе ұқсас кристалды құрылымды сақтайды. Керісінше, ALD - бұл бір уақытта жұқа пленканы қалыптастыру үшін әр түрлі химиялық прекурсорларға субстратты әр түрлі химиялық прекурсорларға орналастыруды қамтитын тұндыру әдісі.

CVD TAC жабыны - бұл субстратқа тығыз және тұрақты жабын қалыптастыру процесі (графит). Бұл әдіс TAC-ті жоғары температурада субстрат бетіне сақтау, нәтижесінде керемет жылу тұрақтылық пен химиялық тұрақтылықпен танталға (TAC) жабыны бар.