Өнеркәсіп жаңалықтары

CVD TAC жабыны - бұл субстратқа тығыз және тұрақты жабын қалыптастыру процесі (графит). Бұл әдіс TAC-ті жоғары температурада субстрат бетіне сақтау, нәтижесінде керемет жылу тұрақтылық пен химиялық тұрақтылықпен танталға (TAC) жабыны бар.

8 дюймдік кремний карбиді (SiC) процесі жетілген сайын, өндірушілер 6 дюймден 8 дюймге ауысуды жеделдетуде. Жақында ON Semiconductor және Resonac 8 дюймдік SiC өндірісі туралы жаңартуларды жариялады.

Бұл мақалада жаңа жобаланған PE1O8 ыстық қабырға CVD реакторларында LPE-дің ыстық-қабырға CVD реакторларында және оның 200мм-СӨЖ 4H-SIC-тің 4h-эпитаксиін орындау қабілеті енгізілген.